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使用准分子激光技术所进行的工业加工任务各不相同，青岛准分子预混气，这就促使了准分子激光气体在准分子激光技术产品具有更广的输出特性。本质上，准分子预混气多少钱，所有的应用都要求具有高可靠性，激光寿命更长，准分子预混气价格，运转成本更低。在三方面主要应用的促进下，激光器制造商已经取得了大量重要的技术进步。新一代的准分子激光器维护间隔时间更长，自动调节能力更先进，所需支的拥有成本也更低。

准分子激光由Nikolai Basov， V. A. Danilychev 和 Yu. M. Popov等人于1970在莫斯科物理研究所发明。使用电子束激发氙气二聚体，产生的准分子激光波长为172nm。

1975年包括美国政府的海1军研究实验室、诺思罗普研究和技术中心，Avco Everett研究实验室，和美国桑迪亚国家实验室在内的多家政府研究机构研究利用电子束激发惰性气体卤化物。

1979年西德Lambda Physik公司生产出第1台商业用准分子激光器。

迄今为止已经发现的能够产生准分子激光的气体有10多种。

准分子激光气体应用

准分子激光气体(Excimer Laser Gas Mixtures)包括AF(193nm)，KrF(248nm)，XeCl (308nm)预混气体，主要应用于眼科医1疗、光纤、半导体、材料科学、电子、平板等领域。作为当今1有效，1可靠的脉冲紫外激光技术的代表，准分子激光器有效的推进了诸如半导体，准分子预混气体，AMOLED平板显示，薄膜，硅底板加工、有机金属沉淀、高温超导、刻蚀、材料研究、汽车制造、生物医1疗、光纤、钻石达标设备及可替代能源等多种成长型工业中的技术更新。

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